束流注入均匀性的控制方法及系统.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.66万字
约 22页
2023-05-16 发布于四川
举报
版权申诉

束流注入均匀性的控制方法及系统.pdf

1、本文档共22页，其中可免费阅读21页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种束流注入均匀性的控制方法和系统，方法包括：测量二维束流的密度分布，并且将二维束流的密度分布沿x轴积分得到一维束流的密度分布；根据一维束流的平均密度和需要的注入剂量，确定靶载体匀速执行机械扫描的第一速度和扫描次数；根据一维束流的密度分布确定靶载体的机械扫描范围和扫描平面中x方向上每个扫描位置与第二速度的关系；计算靶载体在扫描范围内x方向上的不同位置的实际扫描速度；以实际扫描速度扫描以使得束流注入至靶中直至完成机械扫描范围内的扫描。采用可变的速度来进行扫描以减小因密度分布造成的剂量不

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114758949 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210023370.1 (22)申请日 2022.01.10 (66)本国优先权数据 202110021552.0