微机电装置及光学装置.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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一种微机电装置，包括多个反射元件、至少一偏摆框体、固定框体以及控制器。偏摆框体具有多个快轴。这些反射元件分别借由这些快轴与偏摆框体耦接。固定框体具有慢轴。至少一偏摆框体设置于固定框体内，且固定框体借由慢轴与至少一偏摆框体耦接。慢轴的偏摆频率小于各快轴的偏摆频率，且慢轴的轴向不同于快轴的轴向。控制器与固定框体耦接且选择性地控制以该些快轴与该慢轴为转轴的多个反射元件偏摆。这些反射元件中的第一反射元件以及第二反射元件分别用于反射第一光束以及第二光束，以分别形成第一反射光束与第二反射光束。另，一种具有上

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114763248 A (43)申请公布日 2022.07.19 (21)申请号 202110052967.4 (22)申请日 2021.01.15 (71)申请人中强光电股份有限公司地址中国台