装载端口及其操作方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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本发明实施例涉及装载端口及其操作方法。装载端口能够监控跟运输载体相关联的各种环境参数，以最小化及/或防止其中的半导体衬底暴露于增加的湿度、增加的氧气、增加的振动及/或一或多种其它可能会污染半导体衬底、损坏半导体衬底及/或导致处理缺陷升高的环境条件。举例来说，装载端口可以监控环境参数，作为运输载体的扩散器潜在阻塞的指标，并且在根据确定扩散器已经发生阻塞的情况下，可以使用释压阀将气体从运输载体转移。以这种方式，气体可以通过释压阀转移并远离运输载体，以防止增加的湿度、污染物及/或振动污染及/或损坏半导

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114758972 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210085853.4 H01L 21/67 (2006.01)