一种CNTs-Al2O3复合磨料、其制备方法、应用及包含其的抛光液.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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一种CNTs-Al2O3复合磨料、其制备方法、应用及包含其的抛光液.pdf

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本发明提供一种CNTs‑Al2O3复合磨料、其制备方法、应用及包含其的抛光液。所述CNTs‑Al2O3复合磨料由多壁碳纳米管CNTs包覆氧化铝粉改性复合而成。所述抛光液包括重量配比如下的各组分：pH调节剂0.5‑3份、多元醇1‑3份、螯合剂0.5‑3份、CNTs‑Al2O3复合磨料20‑40份、超纯水85‑98份。包含CNTs‑Al2O3复合磨料的抛光液无需添加分散剂，即能提高抛光液的悬浮分散性稳定性，进而大大提高抛光表面质量，减少划伤，同时兼具蓝宝石衬底高移除速率的优点。本发明抛光液在蓝宝石、

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114752353 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210455507.0 (22)申请日 2022.04.28 (71)申请人浙江奥首材料科技有限公司