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本发明提供一种可减少泵内的生成物堆积的真空泵，可减少在形成从排气功能部至排气管的气体通路的构件的表面的生成物堆积。真空泵包括：加热部，将定子圆筒部加热至抑制生成物堆积的温度；排气口，设置于第二泵壳体，将通过转子及定子排出的气体排出至第二泵壳体的外部；加热器，将排气口加热至抑制生成物堆积的温度；以及气体通路容器，配置于第二泵壳体内，具有从转子圆筒部与定子圆筒部的空隙排出的气体流入的流入口、及使流入的气体向排气口流出的流出孔，且被加热至抑制生成物堆积的温度，其中，排气口的插入部经由间隙插入至气体通路
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114776608 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202110868761.9
(22)申请日 2021.07.30
(30)优先权数据
2021-009077 202
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