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本申请提供了一种位移传感器及磁悬浮系统,磁悬浮系统包括磁悬浮轴承及位移传感器。位移传感器包括:第一磁源,安装于磁悬浮轴承的转子轴上,第一磁源用于产生磁场;基板,固定设置并与第一磁源间隔一段距离,基板上开设有中心孔,中心孔用于供转子轴穿过;霍尔阵列,包括多个霍尔芯片,多个霍尔芯片分别贴设于基板上并与基板电连接;多个霍尔芯片分布于中心孔外围,各霍尔芯片能够分别检测磁场在各霍尔芯片处的磁通密度,以获取第一磁源及转子轴的位置信息。本申请相较于传统的磁悬浮轴承,在位移传感器的使用数量上更少,同时也减小了位
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114739274 A
(43)申请公布日 2022.07.12
(21)申请号 202210441679.2
(22)申请日 2022.04.25
(71)申请人 深圳先进技术研究院
地址 5180
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