泄漏检测件、气体管路、制造设备以及管道泄漏检测方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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泄漏检测件、气体管路、制造设备以及管道泄漏检测方法.pdf

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本申请属于半导体技术领域，具体涉及一种泄漏检测件、气体管路、制造设备以及管道泄漏检测方法，该泄漏检测件用于检测管道，包括固定部和检测部，固定部用于与管道以可拆卸连接的方式连接，管道中通入气体，检测部设置在固定部上，通过检测部与气体接触的化学反应确定管道发生泄漏。根据发明实施例的泄漏检测件，通过检测部与气体接触时，发生化学反应确定管道泄漏，将微小的变化转变为肉眼可以观察到的变化，弥补了通过压力检测的方式检测范围有限的缺点，响应时间短，灵敏度高，检测成本低。确定管道出现泄漏后，对管道进行及时的维修，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114763878 A (43)申请公布日 2022.07.19 (21)申请号 202110057327.2 (22)申请日 2021.01.15 (71)申请人中国科学院微电子研究所地址 10