纳米粒子有序排布的等离激元共振传感器及其制作方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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纳米粒子有序排布的等离激元共振传感器及其制作方法.pdf

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本发明公开了纳米粒子有序排布的等离激元共振传感器，克服了现有技术中基于局域等离激元模式的光学传感器无法约束局域场空间耗散问题，半峰宽较宽以及金属光栅的传播式等离激元模式也存在工作波长、强度和半峰宽存在明显的角度依赖性的问题，包括微流体芯片以及放置在微流体芯片内的等离激元纳米结构，所述等离激元纳米结构包括衬底，所述衬底上设有金属纳米颗粒结构，所述金属纳米颗粒结构均匀、有序排布在衬底上，所述金属纳米颗粒结构上设有封装层。还提供了纳米粒子有序排布的等离激元共振传感器制作方法。抑制了每个孤立颗粒的局域等

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114778493 A (43)申请公布日 2022.07.22 (21)申请号 202210237802.9 (22)申请日 2022.03.11 (71)申请人杭州电子科技大学地址 31001