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本发明涉及多晶铸锭炉技术领域,公开了一种基于水封的检测多晶铸锭炉设备气密性的方法,S1:将多晶铸锭炉加热部件打开,将多晶铸锭炉内壁、外壁和水路中水分蒸发;S2:再将多晶铸锭炉内原料和杂质清空,并将多晶铸锭炉内阀门关闭,预留单一通管。本发明通过检测方法,通过对水路检测,多晶铸锭炉气密检查,可对多晶铸锭炉的裂缝进行初步位置判断,通过塑料套袋对应多晶铸锭炉嵌套,当氦气通过多晶铸锭炉的裂缝进入塑料套袋内时,吸附于多晶铸锭炉外壁的塑料套袋出现起伏状态,判断裂缝位置,有效地指明多晶铸锭炉的裂缝方位,大大提高
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114754939 A
(43)申请公布日 2022.07.15
(21)申请号 202210279434.4
(22)申请日 2022.03.21
(71)申请人 扬州晶樱光电科技有限公司
地址 2
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