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本发明涉及一种计量系统,其包含通信耦合到一或多个计量工具的控制器。在另一实施例中,所述控制器包含经配置以执行程序指令的一或多个处理器,所述程序指令引起所述一或多个处理器:从所述一或多个计量工具接收计量样本的一或多个计量目标的一或多个叠加计量测量;从所述一或多个测量叠加测量确定倾斜;及确定一或多个光刻工具或所述一或多个计量工具中的至少一者的一或多个校正数以调整所述倾斜,其中所述一或多个校正数经配置以减小所述样本的倾斜量或所述一或多个叠加计量测量的叠加不准确度。所述程序指令进一步引起所述一或多个处理
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114787614 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202080078707.8 A ·玛纳森
(22)申请日 2020.11.15
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