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本发明提供一种晶圆检测实时对焦装置及方法,其中,该装置包括:镜头模块、控制器和距离检测模块;其中,镜头模块和距离检测模块相对设置,镜头模块与距离检测模块之间留有放置晶圆的间隙;镜头模块用于拍摄晶圆检测表面的图像;距离检测模块用于检测晶圆背面的起伏变化信息,并将起伏变化信息传输到控制器;控制器用于根据接收到的起伏变化信息计算镜头模块的移动补偿量,并根据计算的移动补偿量向镜头模块发出移动控制信号;镜头模块还用于根据接收到的移动控制信号调整镜头与晶圆表面的距离。本发明能够在基于简单和低成本的镜头整体设
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114785941 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202210316118.X
(22)申请日 2022.03.29
(71)申请人 上海谦视智能科技有限公司
地址 2
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