一种识别栅极上连续排列的M0图形集群的方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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一种识别栅极上连续排列的M0图形集群的方法.pdf

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本发明提供了一种识别栅极上连续排列的M0图形集群的方法，获取版图信息；识别仅连接一根栅极且与有源区不存在重叠区域的矩形M0为第一目标M0；将第一目标M0的侧边分别按预设的第一距离向外平移后形成第一区；识别存在重叠区域的第一区合成的一个多边形为第一多边形；将所述第一多边形的侧边分别向内按预设的第二距离平移形成第二区，所述第二区即为栅极上连续排列的M0图形集群。能够识别具有特定数量M0图形集群，还可以区分每个M0图形在集群中的相对位置，过程简洁，结果直观准确，有利于工艺的改进和效率提高。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114764852 A (43)申请公布日 2022.07.19 (21)申请号 202110184687.9 (22)申请日 2021.02.11 (66)本国优先权数据 202011628950.0