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本发明提供一种化学机械研磨用组合物以及研磨方法,可在高速地研磨含有钨膜或硅氮化物膜的半导体基板的同时,减少研磨后的被研磨面上的表面缺陷的产生。本发明的化学机械研磨用组合物含有(A)含有氧化钛的研磨粒、以及(B)液状介质,其中所述化学机械研磨用组合物中的所述(A)成分的仄他电位的绝对值为8mV以上。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114761502 A
(43)申请公布日 2022.07.15
(21)申请号 202080082375.0 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理
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