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本发明涉及半导体领域,具体公开了一种半导体芯片生产设备的传送装置,包括:夹持结构,包括夹持本体以及与夹持本体连接的从动轴;真空室,夹持本体设置在真空室内;内磁转子,与从动轴连接;外磁转子,与主动轴连接,内磁转子和外磁转子间由磁力耦合构成联动;隔离套,设置在外磁转子和内磁转子之间,隔离套固定在真空室外壁上并将内磁转子和从动轴罩在其中与外界隔离。隔离套将内磁转子与外界大气完全隔开,让作用于外磁转子上的动力通过磁力穿过隔离套传递给内磁转子,由内磁转子来带动工作转子运行,从而实现无机械动密封的全静密封动
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114783904 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202210249774.2
(22)申请日 2022.03.14
(71)申请人 北京子牛亦东科技有限公司
地址 1
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