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描述了增强被成像到衬底上的图案的目标特征。这可以包括在与一图案形成装置中的一个或更多个目标特征相邻的一个或更多个部位中将一个或更多个辅助特征添加到所述图案形成装置。基于所述衬底中的两个或更多个不同聚焦位置来添加所述一个或多个辅助特征。这也包括基于所述两个或更多个不同聚焦位置以及所添加的一个或更多个辅助特征来移位所述图案形成装置图案和/或设计布局。这可能对于改善跨狭缝不对称性是有用的。将所述一个或更多个辅助特征添加到所述图案并且移位所述图案和/或所述设计布局，通过减少由针对多焦点光刻成像设备的狭缝
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114787715 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202080083808.4 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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