一种提升钝化接触结构性能的低温氢等离子体辅助退火方法和TOPCon太阳能电池.pdfVIP

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2023-05-17 发布于北京
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一种提升钝化接触结构性能的低温氢等离子体辅助退火方法和TOPCon太阳能电池.pdf

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本发明公开了一种提升钝化接触结构性能的低温氢等离子体辅助退火方法和TOPCon太阳能电池，该退火方法是以氢气或含氢气的混合气体为工艺气体，对制备有钝化接触结构的硅片进行退火处理。本发明中，在高温烧结之后，通过在氢等离子体下进行退火处理，既可以通过低温退火修复晶界缺陷和杂质，还可以通过引入H等离子体使得薄膜界面和晶体内部晶界处的悬挂键饱和，减少界面和晶界处的载流子复合，从而达到很好的钝化效果，进而有利于提升太阳能电池的光电转换效率。本发明低温氢等离子体辅助退火方法，具有易于批量处理、运营成本低等优

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823969 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210297222.9 (22)申请日 2022.03.24 (71)申请人湖南红太阳光电科技有限公司地址