掩模护膜、掩模护膜移除方法以及掩模护膜移除装置.pdfVIP

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2023-05-17 发布于四川
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掩模护膜、掩模护膜移除方法以及掩模护膜移除装置.pdf

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本发明属于掩模保护领域，尤其涉及一种掩模护膜、掩模护膜移除方法以及掩模护膜移除装置，其中，掩模护膜包括支撑框以及保护膜，所述支撑框呈环形并具有在中心轴线延伸方向相对设置的抵靠面以及装膜面，所述抵靠面以及装膜面均呈环形，所述抵靠面分为均呈环形的粘接平面以及导流斜面，所述粘接平面开设有多个吸胶孔，所述支撑框开设有与各所述吸胶孔连通的排气通道，所述排气通道于外环面开设有一个排气孔。将掩模护膜从掩模版移除之后，掩模版上不会残留有粘胶。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114815519 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210446397.1 (22)申请日 2022.04.26 (71)申请人深圳市龙图光电有限