一种裸片的筛选方法、装置、设备及存储介质.pdfVIP

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2023-05-17 发布于北京
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一种裸片的筛选方法、装置、设备及存储介质.pdf

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本发明涉及半导体技术领域，公开了一种裸片的筛选方法、装置、设备及存储介质。所述筛选方法包括：获取待筛选晶圆中的第一图像，其中，第一图像为待筛选晶圆中的裸片分布图像；基于所述第一图像，建立坐标系，并根据坐标系获取待筛选晶圆中各裸片的坐标值；基于各坐标值，获取待筛选晶圆中的第二图像，其中，第二图像为待筛选晶圆中的裸片图像；对第二图像进行识别，并判断第二图像是否为外形完整的裸片图像，得到判断结果；根据判断结果，确定第二图像对应的裸片是否完整，并对裸片进行筛选操作。实现了裸片筛选的智能化，提高筛选效率、

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114798479 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210232772.2 G06T 1/00 (2006.01)