一种新型LTPO背板结构及制作方法.pdfVIP

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2023-05-17 发布于四川
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一种新型LTPO背板结构及制作方法.pdf

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本发明公开了一种新型LTPO背板结构及制作方法，包括Poly半导体层，所述Poly半导体层上设有GI层和金属层M1栅极，所述GI层和金属层M1栅极外设有绝缘层PV1，所述绝缘层PV1上设有金属层M2，所述金属层M2外设有绝缘层PV2，所述绝缘层PV2上设有金属层M3，所述金属层M3上设有绝缘层PV3层，所述绝缘层PV3层上镀膜形成IGZO半导体层，所述IGZO半导体层上设有GI层和金属层M4栅极，所述金属层M4栅极和IGZO半导体层上设有绝缘层PV4，所述绝缘层PV4上设有金属层M5，本发明属于

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823718 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210288405.4 (22)申请日 2022.03.22 (71)申请人福建华佳彩有限公司地址 3511