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本发明公开了一种制备氮化硅陶瓷基板的凝胶流延成型方法,该技术方法将氮化硅粉、凝胶单体、交联剂、分散剂和塑性剂等加入到醇类有机溶剂里,经过充分混合后,脱泡,加入引发剂后,进行流延成型。该技术方法创新在于将溶胶凝胶成型和流延工艺成型二者有机结合,充分发挥二者的各自优势,可以将氮化硅基板的素坯密度明显提高,有利于后续烧结更致密,含氧量降低,提高产品导热率;可以实现坯体快速固化,提高流延成型的效率,绿色环保。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114804890 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210155907.X
(22)申请日 2022.02.21
(71)申请人 郑州大学
地址 450001 河
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