一种测量氧化物表面交换速率的进样装置.pdfVIP

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2023-05-17 发布于北京
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一种测量氧化物表面交换速率的进样装置.pdf

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本发明公开了一种测量氧化物表面交换速率的进样装置，属于测量领域。该装置包括六通阀，所述的六通阀包括三个进口和三个出口，其中的一个出口和一个进口之间设有定量环；进料气源罐依次通过减压阀、球阀、针阀、第一压力计和六通阀的第二个进口相连；吹扫气源罐依次通过减压阀、流量计以及第二针阀与六通阀的第三个进口相连；六通阀的第二个出口通过第二压力计和脉冲进样装置相连，脉冲进样装置的另一端与质谱仪相连；六通阀的第三个出口通过三通阀、真空计、第二球阀与真空泵相连。此装置大大减少了同位素气体的使用量，大大提高了测试过

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114813477 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210177808.1 (22)申请日 2022.02.24 (71)申请人南京工业大学地址 211899