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本发明涉及一种双臂反向电压调制的电光调制器,包括波导结构和能改变光相位的移相器。波导结构包括由下而上的硅基层、外延层和两条均具有PN结的光支路。两条光支路间隔嵌设在外延层中。每条光支路均包括两个电极、P区和N区,P区邻接于N区,其中一个电极连接于P区,另一个电极连接于N区,P区和N区嵌设于外延层中,两个电极和P区和N区连接的一端嵌入外延层中,另一端裸露在外延层之外。移相器连接于其中一条光支路。该电光调制器设置了两条均具有PN结的光支路,可以向两条光支路同时施加反向的电压信号,以反向调节两条光支路
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114815327 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210407551.4
(22)申请日 2022.04.19
(71)申请人 三明学院
地址 365000 福
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