存储系统、以及三维存储器及其制备方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.71万字
约 25页
2023-05-17 发布于北京
举报
版权申诉

存储系统、以及三维存储器及其制备方法.pdf

1、本文档共25页，其中可免费阅读24页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

存储系统、以及三维存储器及其制备方法。本公开提供了一种三维存储器及其制备方法。本公开还提供了一种存储系统。根据本公开的三维存储器包括：堆叠结构，包括交替堆叠的绝缘层和栅极层，堆叠结构还包括台阶区，台阶区包括沿第一方向排布的多个分区，相邻的两个分区之间具有分界区，每个分区包括沿第二方向设置的多级台阶；在所述分界区内，相邻台阶的交界部位构成交界结构；第一方向与第二方向相互交叉，且分别与绝缘层和栅极层的堆叠方向垂直；以及栅线缝隙结构，栅线缝隙结构贯穿堆叠结构；其中部分栅线缝隙结构位于分界区、并贯穿至少

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823704 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210440314.8 (22)申请日 2022.04.25 (71)申请人长江存储科技有限责任公司地址 4