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本发明提供一种基板搬送装置以及基板处理装置,能够提高基板的品质。实施方式是搬送具有翘曲的基板的基板搬送装置,包括:多个搬送辊,具有支撑基板的凹面侧的圆柱部,通过圆柱部以轴为中心而旋转,从而搬送基板;第一轴,与搬送辊成同轴地沿着与基板的搬送方向正交的宽度方向而设;按压辊,按压基板的凸面;及第二轴,与按压辊成同轴地设置,且搬送辊是将在宽度方向上隔开地设置的两个作为一组,而沿搬送方向配置有多组,在各组的两个搬送辊,设有在宽度方向上隔开的两根第一轴,搬送辊与按压辊的隔开距离具有沿着搬送方向而变短的部分。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114823443 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210018112.4
(22)申请日 2022.01.07
(30)优先权数据
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