基于振镜扫描的宽禁带半导体紫外探测器成像系统及方法.pdfVIP

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2023-05-17 发布于北京
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基于振镜扫描的宽禁带半导体紫外探测器成像系统及方法.pdf

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本发明公开一种基于振镜扫描的宽禁带半导体紫外探测器成像系统及方法，系统包括宽禁带半导体紫外探测器、二维振镜模块及其触发装置、扫描像素控制模块，其中：宽禁带半导体紫外探测器获取目标区域的光信号；二维振镜模块为两个扫描方向正交的振镜，通过振动对目标区域进行扫描；触发装置驱动二维振镜模块；扫描像素限制模块对探测器接收的光束形状大小进行限制；目标区域发出的光线通过二维振镜模块和扫描像素限制模块被宽禁带半导体紫外探测器接收。方法包括图像像素限制，振镜扫描控制，解卷积恢复成像。相比于传统探测方法，本发明能通

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114812814 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210429736.5 (22)申请日 2022.04.22 (71)申请人中山大学地址 510275 广