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本发明涉及半导体加工技术领域,公开了一种防止半导体侧壁损坏的方法,通过将透光带固定在透光夹具的一面上,并将多个半导体间隔固定在所述透光带的另一面上,先在多个所述半导体远离所述透光带的一面上形成负干膜,再从所述透光夹具往所述负干膜的方向对所述负干膜进行曝光,使得光线通过透光夹具、透光带,并穿过相邻两个半导体之间的间隔之后,到达负干膜,由于边界效应,使得光线还能够到达半导体上方的一部分区域,从而完成曝光,本发明实施例无需在相邻两个半导体的间隔中采用填充材料,避免了现有技术由于在光刻工艺中采用填充材料
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114815509 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202110119765.7
(22)申请日 2021.01.28
(71)申请人 东莞新科技术研究开发有限公司
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