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本发明提供一种绿色可见光催化辅助金刚石化学机械抛光液，属于超硬材料超精密加工领域。使用由氧化剂、磨料、可见光光催化剂、螯合剂和去离子水组成的抛光液在可见光照射下对金刚石化学机械抛光，所述抛光液氧化剂的浓度为15wt％～25wt％，磨料浓度为40～80g/l，可见光光催化剂的浓度为0.02667～0.2667g/l，螯合剂浓度为0.5～2mM，去离子水的重量百分比为67％～81％。抛光后，表面粗糙度为0.111nm，材料去除率为416nm/h。本发明实现了绿色、高效、高质量化学机械抛光金刚石。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114806413 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210419368.6
(22)申请日 2022.04.21
(71)申请人 大连理工大学
地址 116024
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