一种基于压电薄膜的硅波导声光调制器件.pdfVIP

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2023-05-17 发布于北京
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一种基于压电薄膜的硅波导声光调制器件.pdf

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本发明公开了一种基于压电薄膜的硅波导声光调制器件，属于集成光学技术领域，该器件自下至上依次包括硅衬底(1)、埋氧层(2)、硅波导层(3)、缓冲层(4)、压电薄膜(5)和叉指换能器(6)。叉指换能器(6)在外加电信号的驱动下，使压电薄膜(5)内部形成周期性的电场并通过压电效应激励起声场，最终在硅波导层(3)的总线波导中实现不同光场模式与声场的相互作用，并通过非对称定向耦合器实现对不同光场模式的复用或解复用。本发明通过电驱动压电薄膜在非压电的硅波导中实现单边带声光调制，能够独立调控声场和光场，而且缓

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114815332 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210470997.1 (22)申请日 2022.04.28 (71)申请人华中科技大学地址 430074