一种无氯气析出且成本低廉的酸性蚀刻液再生系统.pdfVIP

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2023-05-17 发布于北京
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一种无氯气析出且成本低廉的酸性蚀刻液再生系统.pdf

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本发明涉及一种无氯气析出且成本低廉的酸性蚀刻液再生系统，属于电解技术领域，该再生系统阳极采用黏胶基毡结合钛网的复合式阳极结构，采用该阳极结构，避免了氯气的析出，同时还降低了酸性蚀刻液再生设备的整体造价和运行成本，该复合阳极造价只有DSA阳极成本的50％；由于槽电压控制在低位，氯气析出得到了抑制，从而降低了盐酸的消耗，运行槽液不会升温，免去了冷却系统；从环保角度说，效益更是明显的，和目前现有技术比较，废蚀刻液外运少了，用来吸收氯气的氯化铁、次氯酸钠没有了，危废处置的负荷减轻了。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114808039 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210272900.6 C23F 1/46 (2006.01) (22)申请日 2022.03.1