一种分栅快闪存储单元及其制备方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.01万字
约 20页
2023-05-17 发布于北京
举报
版权申诉

一种分栅快闪存储单元及其制备方法.pdf

1、本文档共20页，其中可免费阅读19页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供一种分栅快闪存储单元及其制备方法，包括：衬底及形成于所述衬底上的源线及两个存储位，两个所述存储位对称设置，所述源线位于两个所述存储位之间；每个所述存储位包括浮栅、栅介质层、擦除栅、字线栅及遂穿氧化层，所述擦除栅包括第一部分和第二部分，所述第一部分沿水平方向延伸。所述第二部分沿竖直方向延伸；所述字线栅及所述遂穿氧化层依次堆叠于所述衬底上，且所述字线栅向上延伸至覆盖所述栅介质层及所述第一部分远离所述源线的一侧的侧壁。将所述擦除栅分为两部分，有效减小器件的尺寸，同时，所述擦除栅的设置可以减小

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823685 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210435368.5 (22)申请日 2022.04.24 (71)申请人上海华虹宏力半导体制造有限公司地址