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本发明公开了一种氮化镓反向阻断晶体管，包括自下而上依次为衬底层、缓冲层以及设置在所述缓冲层上含有一个或者多个二维电子气沟道的异质结结构层，所述异质结结构层上设置有相互分离的源极金属结构层、栅极金属结构层、肖特基接触层；源电极、栅电极分别制备在所述源极金属结构层、栅极金属结构层，所述肖特基接触层与所述异质结结构层之间设置有若干离子注入区域，所述肖特基接触层与所述异质结结构层环绕所述离子注入区域之间形成肖特基接触，漏电极制备在所述离子注入区域与所述肖特基接触层的接触面。通过漏电极的图案化离子注入区域
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114823849 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210393534.X H01L 29/778 (2006.01)
(22)申请日 2022.04
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