- 1、本文档共22页,其中可免费阅读21页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请提供了一种三维存储器及其制备方法、存储系统、电子设备。三维存储器的制备方法包括:形成包括多个堆叠层的叠层结构,并在叠层结构中形成多个阶梯台阶;形成覆盖阶梯台阶的介质层,并在介质层中形成与叠层结构的叠层面垂直的顶部选择栅切口;形成贯穿介质层和阶梯台阶的虚拟沟道孔;以及采用绝缘材料填充顶部选择栅切口和虚拟沟道孔以分别形成顶部选择栅结构和虚拟沟道结构,其中,虚拟沟道孔包括第一虚拟沟道孔,第一虚拟沟道孔在叠层面上的投影与顶部选择栅切口在叠层面上的投影具有重叠区域,重叠区域在平行于顶部选择栅切口的第
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114823700 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210356369.0 H01L 27/11556 (2017.01)
(22)申请日 2022.
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新必威体育精装版专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)