薄膜晶体管、其制作方法及显示面板.pdfVIP

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2023-05-17 发布于四川
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薄膜晶体管、其制作方法及显示面板.pdf

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本发明提供了一种薄膜晶体管、其制作方法及显示面板，薄膜晶体管的制作方法，包括：基底；依次位于基底上栅极层和栅绝缘层；位于栅绝缘层上的含氢层；位于含氢层上的半导体层，半导体层包括源掺杂区和漏掺杂区，源掺杂区和漏掺杂区分别间隔设置于半导体层的两端；分别位于源掺杂区和漏掺杂区上的源电极层和漏电极层。通过在栅绝缘层和半导体层之间形成一层含氢层，优化栅绝缘层中的原子结构，减少结构缺陷，降低阈值电压，提升开态电流，以提升器件性能，从而提高面板的良率和可靠性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823912 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210357837.6 (22)申请日 2022.04.06 (71)申请人 TCL华星光电技术有限公司地址