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一种测试装置,用于与多个测试板相配合进行测试,所述测试板具有功能测试端;所述测试装置包括:底座,包括配置区和位于所述配置区端部的扩展区;阵列排布的引脚,位于所述底座上,所述引脚用于与所述测试板的插座匹配使用;所述引脚包括:位于所述配置区且与所述功能测试端对应的第一测试引脚,以及位于所述扩展区且与所述功能测试端对应的第二测试引脚;焊盘,设置于所述底座中且与所述引脚一一对应相连;互连结构,包括位于所述底座中的至少一条互连线,所述互连线用于连接所述第一测试引脚和第二测试引脚对应的焊盘。本发明实施例提供
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114814518 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202110065158.7
(22)申请日 2021.01.18
(71)申请人 中芯国际集成电路制造(天津)有限
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