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本发明公开了一种镀膜设备，包括镀膜腔主体，所述镀膜腔主体包括镀膜腔，镀膜腔内设置有材料源与防着组件，所述镀膜腔主体包括承载所述材料源的第一内壁、与所述第一内壁相对设置的第二内壁，所述防着组件包括第一防着板，位于所述第二内壁靠近所述第一内壁的一侧；设置于所述镀膜腔内并与所述镀膜腔主体连接的滑动部件；以及位于所述第一防着板靠近所述第一内壁的一侧且与所述滑动部件滑动连接的第二防着板；其中，所述第二防着板包括多个与所述滑动部件滑动连接的第二防着子板，各所述第二防着子板可沿所述滑动部件滑动相互折叠使所述第
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114807866 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210410834.4
(22)申请日 2022.04.19
(71)申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有
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