用于硅盘的夹具组件.pdfVIP

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2023-05-17 发布于北京
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本发明涉及用于硅盘的夹具组件。该夹具组件包括：基板，在基板上设有可接纳硅盘的座孔；支撑机构，其包括围绕座孔的整个周向内壁彼此间隔的布置且固定在周向内壁中的多个支撑块，每个支撑块具有沿着径向向内方向高于周向内壁的第一轴向弧面和从第一轴向弧面的底部沿径向朝向座孔的中心线延伸并适于与硅盘的下表面的外边缘相抵靠的第一支撑平面；和调节机构，其包括沿周向内壁彼此间隔且与支撑块间隔开的多个调节块，每个调节块可活动地固定在周向内壁中并配置成可沿径向向内推动硅盘以使硅盘的周向边缘抵靠在相对的支撑块的第一轴向弧面上

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823472 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210267646.0 (22)申请日 2022.03.17 (71)申请人亚新半导体科技（无锡）有限公司地址