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本发明公开一种硅片单面减薄加工模拟方法、电子设备及存储系统,方法包括:创建硅片单面减薄加工区模型,所述硅片单面减薄加工区模型包括:砂轮模型(1)和硅片模型(2);对硅片单面减薄加工区模型进行前处理,所述前处理,至少包括:设定所述砂轮模型(1)与所述硅片模型(2)表面平行放置;进行所述砂轮模型(1)减薄加工所述硅片模型(2)模拟仿真,得到模拟结果。本发明提供的硅片单面减薄加工模拟,能在实际加工前、或需排查问题、改善精度时,对硅片单面减薄加工产生的变形及应力进行有针对性的预测与分析,模拟仿真的方式可
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114818426 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210446499.3
(22)申请日 2022.04.26
(71)申请人 万华化学集团电子材料有限公司
地址
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