基于多注意力宽度神经网络模型的混合缺陷识别方法.pdfVIP

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2023-05-17 发布于北京
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基于多注意力宽度神经网络模型的混合缺陷识别方法.pdf

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本发明涉及一种基于多注意力宽度神经网络模型的混合缺陷识别方法，该方法通过知识融入的多通道注意力宽度神经网络对多种模式混合的缺陷进行识别。本发明以混合模式晶圆图缺陷为例，针对混合模式缺陷特征空间复杂的特点，该方法利用八种基本缺陷特征的先验知识，预训练注意力机制引导的选择性采样算子，使其准确提取混合模式缺陷中的单一缺陷特征；针对缺陷混合模式组合复杂的特点，该方法构建通道激活知识来指导选择性采样算子的激活，准确判别缺陷混合模式中包含的基本类型缺陷。与现有方法相比，所提模型具有更高的缺陷采样率和更高的混

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114820444 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210276221.6 (22)申请日 2022.03.21 (71)申请人东华大学