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本发明属于空间环境探测技术领域,公开了一种层压式微型化低能粒子测量装置,包括粒子偏转系统、微通道板和电子学处理系统,粒子偏转系统包括从上至下层压式依次设置的入射栅板、空腔电压板和出射栅板,入射栅板用于引导空间低能粒子以粒子束的形式入射,空腔电压板用于基于施加电压对入射的空间低能粒子进行偏转和筛选,出射栅板用于引导筛选后的粒子束到达微通道板,微通道板用于收集并放大粒子束撞击产生的电信号,电子学处理系统用于对电信号进行分析得到粒子的相关测量信息。本发明采用层压式的结构能够减小仪器尺寸,从而确保仪器能
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114814927 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210405708.X
(22)申请日 2022.04.18
(71)申请人 武汉大学
地址 430072 湖
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