一种拉晶方法及单晶炉.pdfVIP

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2023-05-17 发布于四川
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一种拉晶方法及单晶炉.pdf

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本发明实施例提供了一种拉晶方法及单晶炉，涉及单晶炉拉晶技术领域，单晶硅棒包括籽晶和通过籽晶引出的等径部，等径部靠近籽晶的一端沿自身径向延伸形成凸出部，凸出部的直径大于等径部的直径，拉晶方法包括：控制第一限位件和第二限位件处于第一相对位置，其中，第一相对位置表示第一限位件和第二限位件之间的距离大于凸出部直径时所处的位置；获取单晶硅棒的状态参数；在状态参数满足预设条件时，控制第一限位件和第二限位件处于第二相对位置，其中，第二相对位置表示第一限位件和所述第二限位件之间的距离小于凸出部直径，且大于等径部

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114808114 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210288605.X (22)申请日 2022.03.23 (71)申请人隆基绿能科技股份有限公司地址 7