一种双面局域钝化接触太阳能电池及其制作方法.pdfVIP

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2023-05-18 发布于四川
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一种双面局域钝化接触太阳能电池及其制作方法.pdf

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提供了一种双面局域钝化接触太阳能电池及其制作方法，其包括：在N型硅片衬底的第一表面上形成交替排列的第一隧穿钝化接触层和P+掺杂区；在N型硅片衬底的第二表面上形成交替排列的第二隧穿钝化接触层和第三隧穿钝化接触层；在第一隧穿钝化接触层和P+掺杂区上形成依次层叠的氧化铝层和第一氮化硅层，并在第二隧穿钝化接触层和第三隧穿钝化接触层上形成第二氮化硅层；形成第一电极和第二电极，以获得所述双面局域钝化接触太阳能电池。所述制作方法在电池的第一表面和第二表面均实现了局域钝化接触，在提升电池的表面钝化效果的同时改善

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114864740 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210374990.X (51)Int.Cl.