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本发明公开了一种空间光调制器及其设计方法、光束扫描方法,属于空间光调制器领域,包括电可调谐的等离子体激元谐振器单元,且为顶层、中层和底层结构;顶层为天线,中层为绝缘薄膜,底层为反射镜衬底;所述天线采用相变材料‑金属电极‑相变材料的包覆型结构,相变材料贴合在金属电极两侧,金属电极在电驱动下对相变材料进行加热;所述相变材料包括二氧化钒。本发明实现超表面中对近红外光束的高反射率与大角度的光束扫描,提高了近红外波段的调制深度,提高了设计效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114859622 A
(43)申请公布日 2022.08.05
(21)申请号 202210299963.0
(22)申请日 2022.03.25
(71)申请人 成都信息工程大学
地址 61022
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