一种气体分配盘部件的T型槽的加工方法.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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一种气体分配盘部件的T型槽的加工方法.pdf

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本发明提供了一种气体分配盘部件的T型槽的加工方法，所述的加工方法包括依次进行的第一铣切与第二铣切；所述的第一铣切为采用铣刀在气体分配盘部件表面加工形成凹槽；所述的第二铣切为采用“T”型刀在所述的凹槽内加工形成“T”型槽；所述的第一铣切与第二铣切分别独立地在卧式加工车床内进行加工。本发明解决了半导体机台的气体分配盘部件内“T”型槽的加工问题，操作简单，稳定性高，提高了加工效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114799297 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210578584.5 (22)申请日 2022.05.25 (71)申请人宁波江丰芯创科技有限公司地址 3