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高纯SiC多晶源粉的杂化官能度硅烷无引发悬浮聚合制备方法,它涉及一种高纯碳化硅多晶源粉的制备方法,它要解决现有的SiC多晶源粉的制备方法的纯度低、副产物多、氮含量高和成本高的技术问题。本方法:一、制备杂化碳硅树脂;二、树脂洗涤干燥;三、辐照交联联合初级热解碳化;四、前驱体陶瓷高温还原晶化。本方法制备的碳化硅多晶源粉的纯度达到6N以上,每克产品中氮原子含量低于1016个。可用于高纯碳化硅制备领域。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114804113 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210586713.5
(22)申请日 2022.05.26
(71)申请人 哈尔滨晶彩材料科技有限公司
地址
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