一种金属硅化物BOE刻蚀废水零排放处理装置及方法.pdfVIP

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2023-05-18 发布于四川
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一种金属硅化物BOE刻蚀废水零排放处理装置及方法.pdf

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本发明公开了一种金属硅化物BOE刻蚀废水零排放处理装置及方法，包括废水收集池、高效集成反应沉淀池、酸碱调节缓冲池、膜滤系统、一级脱盐膜处理系统、二级脱盐膜处理系统；一级脱盐膜处理系统浓水出水端可通过蒸发结晶增压泵连接至蒸发结晶装置，处理后的冷凝水回流至所述膜滤水箱，结晶或废液委外处置，从而实现废水零排。二级脱盐膜处理系统产水端与所述回用水箱之间增设连续电除盐装置，从而提高脱盐率。本发明适用于不同水质水量的废水，对污染物去除率高，废水回用效率高，废水排放量少；处理后的产水循环利用，既节约资源，又减

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114853204 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210374639.0 (22)申请日 2022.04.11 (71)申请人江苏道同环境科技有限公司地址 2