一种膜片式光纤光栅压力传感器.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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一种膜片式光纤光栅压力传感器.pdf

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本发明专利提出了一种基于膜片式FBG的压力传感器结构及其制备方法。该结构由方形弹性膜片与杠杆结构同时对FBG进行压力增敏；利用两个中心波长间距20nm的FBG进行传感，其中FBG1受到压力与温度的影响，FBG2只受到温度的影响，用串联的方式实现了温度补偿；该结构可以通过调整FBG1与杠杆中心的距离来进行压力灵敏度调谐；该结构均采用尺寸较小（均在15mm以内）的金属与光学元件进行搭建设计，成品便于携带；本结构可以应用于海洋浅海海域与细小管道液体压力的压力传感。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114812917 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210567896.6 (22)申请日 2022.05.24 (71)申请人海南师范大学地址 571158