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本发明公开了一种图案化减薄二维碲烯的方法,包括以下步骤:(1)将预先制备好的二维碲烯转移至目标衬底;(2)在目标衬底中二维碲烯表面旋涂电子束光刻胶,烘烤后利用电子束曝光方法将所述的电子束光刻胶进行图案化;(3)将所得的图案化电子束光刻胶的二维碲烯置于氧化剂溶液中浸泡,对图案化区域暴露的二维碲烯进行选择性刻蚀减薄;(4)先用有机溶剂去除二维碲烯表面的电子束光刻胶,再用去离子水冲洗,最后在一定温度下干燥冲洗干净后的二维碲烯,即得所述图案化减薄的二维碲烯。本发明的减薄方法操作简单、绿色经济,适合大面积
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114864387 A
(43)申请公布日 2022.08.05
(21)申请号 202210451985.4
(22)申请日 2022.04.26
(71)申请人 郑州大学
地址 450040 河
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