一种高压气体真空分压测量装置及测量方法.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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一种高压气体真空分压测量装置及测量方法.pdf

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本发明涉及真空测试设备技术领域，特别是涉及一种高压气体真空分压测量装置及测量方法。本发明包括测试腔体和第一差分系统，所述测试腔体和第一差分系统并行连接，所述测试腔体出口与调节阀入口连接，所述调节阀的出口与过渡腔体相连，所述过渡腔体分别与四级质谱仪、第二差分系统和规管相连。本发明提供了一种高压气体真空分压测量装置及测量方法，实现了四级质谱仪在低真空高压强环境下分压准确测量的功能，有效提高了低真空高压强环境下四级质谱仪的测试效率和测试精度；同时，可以保证全过程气体分压实时监控，有利于产品的质量合格率

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114813447 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210763015.8 G01L 21/00 (2006.01)