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本申请提供一种可调滤波器及可调滤波器的制造方法，可调滤波器包括第一基底、第二基底及多个压电薄膜电极；其中，第一基底具有相对设置的第一表面及第二表面，第一表面上设有第一凹槽，第一凹槽内底面设有第一高反膜层，第二表面上设有第一减反膜层；第二基底具有相对设置的第三表面及第四表面，第四表面键合在第一表面上，第四表面上设有环形凹槽，环形凹槽内底面上设有一浮岛块，浮岛块上设有第二高反膜层；第三表面上设有第二凹槽，第二凹槽的内底面设有第二减反膜层；第三表面上且位于第二凹槽周围设有刻蚀槽以形成与浮岛块连接的悬臂
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114843726 A
(43)申请公布日 2022.08.02
(21)申请号 202210636710.8
(22)申请日 2022.06.07
(71)申请人 欧梯恩智能科技（苏州）有限公司
地址
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