一种钛酸铋系列铁电薄膜的制备方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种钛酸铋系列铁电薄膜的制备方法.pdf

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本发明涉及一种钛酸铋系列铁电薄膜的制备方法，属于铁电薄膜制备领域。本发明先采用溶胶‑凝胶法制备一层具有缺陷的钛酸铋系列薄膜，然后在该薄膜层上进行磁控溅射镀膜，再进行退火处理，可以得到晶粒尺寸较大的薄膜，而且由于薄膜的质量较高、缺陷较少，薄膜的抗疲劳性能较好。该方法制备的铁电薄膜晶粒尺寸较大，纵向尺寸能够达到2μm，并且具备良好的抗疲劳性能，在电容器、压电元件和铁电元件中具有潜在的应用价值。本发明的制备方法为溶胶‑凝胶法和磁控溅射相结合，克服了薄膜热处理温度过高而产生缺陷以致薄膜失效的缺点，有利于

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883480 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210562469.9 C23C 14/08 (2006.01)